锗亚波长周期薄膜的光谱特性

摘要：

宽带反射器和带通滤光片可以利用厚度固定为3.20 μm的锗亚波长周期薄膜实现.强折射率调制的锗亚波长周期薄膜使得泄漏模共振的带宽增大,因此泄漏模共振TEll、TE21和TE30能够发生相互作用.通过改变光栅深度,可以在波长λ=10.60μm附近形成高反射宽带和透射带.利用泄漏模共振TE11、TE21和TE30之间的叠加产生增强反射效应,从而形成具有高反射率的反射宽带.利用这些泄漏模共振边缘的叠加产生共振增强透射效应,从而获得具有高透射率的透射带.在这两种情况下分别研究了光栅的未刻蚀和过刻蚀效应,结果表明,为了获得良好的光谱性能,刻蚀过程中应该避免过刻蚀情况.

关键词：光谱特性、宽带反射器、带通滤光片

所属期刊栏目：41

分类号：TN25(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973资助项目2011CB922200;国家自然科学基金110640l0

在线出版日期：2012-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1311-1315