基于泽尼克多项式系数的大相对孔径表面超精密车削误差的补偿方法

摘要：

超精密车削误差补偿是提高超精密车削工艺水平的关键技术.首先对超精密车削中的各种误差进行了简单的分析与归纳,指出刀具刃口几何形状误差与机床导轨非线性误差具有相同的表现形式,可以通过车削零件的面形检测结果进行综合补偿.然后,提出了一种根据干涉仪检测结果对上述误差进行高精度补偿的方法,并进行了理论推导.最后的实验结果证明:基于面形误差泽尼克多项式球差及高级球差系数(最高到36项系数)对国产刀具刃口(波纹度误差大于0.2 μm)与机床(Nanotech UPL250)系统误差进行综合补偿的方法正确而高效,仅3次补偿循环,即可使一大相对口径实验球面件的面形误差收敛到PV=0.24λ,rms=0.021λ,符合理论推导及计算机模拟的分析.

关键词：超精密车削、误差补偿、大相对孔径、泽尼克多项式

所属期刊栏目：41

分类号：TH161

资助基金：江苏省高校自然科学基金07KJD140180;江苏省高校优势学科资助项目

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：724-728