电子束蒸发SiO2薄膜残余应力在不同湿度环境下的对比

摘要：

采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45％RH)和干燥环境(5％RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究.测试结果表明:SiO2薄膜的残余应力在两个环境中均表现为压应力,且随沉积温度的升高均逐渐增大.干燥环境下与大气环境相比,应力值减小了约100MPa.此外,随沉积温度的升高,薄膜折射率不断增大,表面粗糙度逐渐减小.说明:随着沉积温度的变化,SiO2薄膜的微结构发生了改变.相应地,由水诱发的应力随薄膜致密度的增加而逐渐减小.

关键词：SiO2单层膜、沉积温度、残余应力、由水诱发的应力、折射率、表面形貌

所属期刊栏目：41

分类号：O439(光学)

资助基金：国家863计划;上海市博士后资助计划10R21416000

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：713-717