硫系玻璃的粘弹性及模压工艺的仿真

摘要：

为了对红外玻璃的精密模压工艺进行仿真分析,利用热机械分析方法,对红外玻璃在高温下的粘弹性进行了研究.利用热机械分析仪观察玻璃在高温下的蠕变响应,对所获得的蠕变数据进行重新计算和整理,拟合获得了所需的PRONY级数的参数,并将其输入ANSYS软件,进行模压仿真.实验结果表明,玻璃在高温下会呈现出典型的粘弹性属性,其弹性模量在较长的时间后会下降5个数量级.选择微米结构进行仿真的结果表明,当模压时间超过13 min后,时间对模具腔体的填充率的影响不大.仿真分析还发现,温度和压力的大小对模压工艺的填充率有明显影响.

关键词：硫系玻璃、粘弹性、热机械分析、蠕变、模压工艺

所属期刊栏目：41

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：兵器预研基金62301110705

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：569-574