CVDZnS微观缺陷分析

摘要：

微缺陷对化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)的光学及力学性能有显著影响.对沉积工艺进行了介绍,通过SEM、TEM及金相对CVDZnS中的微缺陷如异常大晶粒、柱状晶、微裂纹、微孔及杂质的结构形态进行了观测,并对形成原因进行了分析:高的沉积生长速率是生成异常大晶粒的主要原因；反应物浓度高加之衬底表面的屏蔽效应及Zr/ H2S＜1形成结构疏松的柱状晶组织；沉积温度较低加大沉积生长应力,宏观上产生材料的起拱,微观上造成晶粒的弯曲形变,并在晶体内产生大量微裂纹；沉积室局部反应物浓度高导致微孔及杂质的产生,须改善沉积室气体流形提高反应物浓度的均匀性.

关键词：CVDZnS、微缺陷、沉积工艺

所属期刊栏目：41

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

资助基金：973计划资助

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：139-143