高反射镜膜层应力耦合研究

摘要：

为了控制高损伤阈值高反射镜膜层的应力,研究了沉积过程中沉积倾角、充氧量对高、低折射率单层膜应力大小的影响.研究发现这两个参数对控制薄膜应力有很大影响,SiO2薄膜在沉积倾角较小和充氧量增大时应力都逐渐减小,SiO2薄膜应力为压应力；HfO2薄膜在充氧量增大时薄膜应力变小,HfO2薄膜应力为张应力.因此,根据SiO2和HfO2薄膜的应力特性,调整镀膜工艺,实现了高、低折射率膜层之间的应力匹配,控制了反射镜面形；同时,镀制的高反射镜满足高功率激光器损伤阈值的要求.

关键词：剩余应力、充氧量、沉积倾角

所属期刊栏目：40

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：NSAF基金

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2447-2450