飞秒激光沉积红外窗口类金刚石增透保护膜

摘要：

脉冲激光沉积法是一种制备类金刚石膜(DLC膜)的新技术.总结了脉冲激光法制备DLC膜在激光源、脉宽、沉积气氛及薄膜掺杂等方面的发展趋势.建立了飞秒脉冲激光沉积DLC膜系统,在不同的沉积条件下(如:真空、氧气氛、掺硅等)开展了实验研究,阐明了不同沉积条件对DLC膜性能的影响规律.在硅、锗红外窗口上镀制了工程实用的DLC增透保护膜,平均透过率超过90％,纳米硬度高达44 GPa,镀膜窗口通过了军标的盐雾、重摩擦等试验,满足海面等恶劣环境使用要求.

关键词：红外窗口、增透膜、保护膜、类金刚石膜、飞秒激光

所属期刊栏目：40

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家863计划

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2403-2407