利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面

摘要：

检测标定了一块放置多年的φ530 mm离轴非球面.根据当年的结构参数,在光学设计软件Zemax中建立了该离轴非球面的检测模型.利用y轴离心和x轴倾斜实现了离轴和光束倾斜.通过对某结构参数多次赋值,并将其他结构参数设为变量,优化并观察干涉图变化,找到最佳参数值.根据Zemax对参数的优化结果,使用4D干涉仪和φ510 mm的平面反射镜,搭建实际检测光路,观察干涉图并进行微调,测得最终结果.去彗差和像散前后图像PV值几乎不变,达到了调节标定要求.使用Zemax软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测,大大提高了检测效率,有利于光学加工效率的提高.

关键词：大口径离轴非球面、Zemax辅助标定、离轴量、4D干涉仪

所属期刊栏目：40

分类号：TB133;TG806(工程基础科学)

资助基金：国家科技重大专项

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1310-1313