丝网印刷制备大面积多孔PZT热释电厚膜与器件

摘要：

采用丝网印刷法在氧化铝基片上制备了大面积多孔PbZr0.3Ti0.7O3热释电厚膜与单元红外探测器.通过掺入Li2CO3与Bi2O3作为助烧剂,实现了厚膜在850℃下的低温烧结.通过保持合适的孔隙率,将厚膜的相对介电常数降低至原值的1/5以提高材料优值与探测率.厚膜在1 kHz、25℃下的相对介电常数与损耗角正切分别为94与0.017.测试了厚膜相对介电常数与损耗随温度的变化规律,测得其居里温度为425℃.通过动态法测试得到厚膜的热释电系数为0.9×10-8 Ccm-2K-1.使用由斩波器调制的黑体辐射,测得单元器件在8.5～2217 Hz的电压响应与噪声,计算出器件的探测率为3.4×107～1.7×108 cmHz1/2W-1.

关键词：丝网印刷、厚膜、PZT、热释电

所属期刊栏目：40

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：工业与信息化部电子信息产业发展基金项目2010-301

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1225-1229