全内反射照明光学元件损伤检测信噪比分析

摘要：

适合的光学元件照明对终端光学元件损伤检测成像至关重要.基于平板光学元件的全内反射原理,将阵列LED边缘照明光耦合进大口径光学元件,光学元件上疵点处的全内反射条件被破坏,光线从疵点出射,用相机对元件成像,散射光就会在相机CCD上形成疵点的图像,它是暗背景中的亮点,因此图像信噪比很高,解决了损伤检测过程中疵点到底归属于光学系统中哪块光学元件的难题.建立了被检测元件损伤点的信噪比模型,分析了临近损伤元件损伤对检测结果的影响.离线验证结果表明:对于310mm×310mm口径的平面光学元件,全口径检测分辨率优于120μm×120μm.

关键词：全内反射照明、损伤检测、暗场成像

所属期刊栏目：40

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2011-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1111-1114