偏振干涉法测量晶体应力双折射精度分析

摘要：

为实现晶体材料应力双折射精确测量,提出了一种以偏振干涉法为基础的测量方法,采用楔形样品避免了样品厚度可能引起的测量错误.利用椭圆偏振光理论和琼斯矩阵,推导了检偏器旋转定位精度、四分之一波片相位偏差和待测样品方位角误差对测量结果--最小可探测光程差所引入误差的解析表达式.误差分析结果表明:检偏器旋转定位精度引入的光程差测量误差最大,检偏器旋转定位精度为10′时.引入的光程差测量误差为3.1 nm;待测样品方隹角误差引入的光程差测量误差居中,待测样品的方位角误差为1°时,引入的光程差测量误差为0.7 nm;四分之一波片相位偏差引入的光程差测量误差最小,四分之一波片的相位偏差为1.5°时,引入的光程差测量误差仅为0.1 nm.

关键词：测量、应力双折射、偏振干涉法、精度分析

所属期刊栏目：40

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

资助基金：航空科学基金实验室类01资助项目20080177003

在线出版日期：2011-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：271-276