正、背照射日盲型肖特基探测器

摘要：

在金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法生长的i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN材料结构上,成功研制了零偏暗电流为10-13量级、峰值响应为0.02～0.03 AW-1的日盲型肖特基紫外探测器.对探测器正照射和背照射时的光谱特性的研究表明:正、背照射时器件的峰值响应大小变化不大;在短波方向,正照射时的器件由于界面层的存在,在峰值响应稍有回落后平滑响应,而背照射时的器件由于n层组分调制响应迅速下滑;在长波方向,正照射时器件在截止波长后的响应较大.

关键词：肖特基探测器、日盲型、响应光谱

所属期刊栏目：39

分类号：TN23(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1085-1087