飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究

摘要：

应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价.不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向波纹区和改性区等不同形貌特征,而且对加工阶段进行分离.并求出加工SiC时强烧蚀和弱烧蚀的阈值分别为0.13 J/cm2和0.61 J/cm2.根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系,发现入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数.

关键词：飞秒激光、SiC、烧蚀阈值、材料去除机理

所属期刊栏目：39

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675051;科技重大专项资助项目2009ZX04001-101

在线出版日期：2011-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1044-1048