双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析

摘要：

研制了双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL),有效克服了传统外延生长方法存在的诸多难题通过对布拉格反射镜、有源区和光学腔的设计,结合键合技术进行工艺设计,于国内首次研制出双面键合长波长VCSEL,并分别采用光泵浦和电泵浦对其进行了测试与分析,测试结果表明结构及工艺设计是合理的,两次键合后的界面可以承受腐蚀、剥离、氧化等后工艺,且键合界面光、电性能良好,未对激光器性质造成明显的不良影响,器件激射波长约为1 273.6 nm,脉冲条件下表现出动态单纵模特性,在仪器测试范围内,20 μm尺寸的器件常温连续工作条件下的最大输出功率为0.16 mW.但P-I曲线的扭折说明器件仍旧存在着较大的热、电阻,需在后续的材料生长及键合技术中进一步优化.

关键词：垂直腔面发射激光器(VCSEL)、键合、布拉格反射镜(DBR)

所属期刊栏目：39

分类号：O485(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60837001;信息学院青年自然科学基金项目QN-08011

在线出版日期：2010-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：618-622