硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜

摘要：

由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中.介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700 nm的可见波段及8～12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1 064nm及1540 nm两点实现高反射率,其入射角度为45°.选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制.该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求.这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义.

关键词：光学薄膜、红外增透膜、离子辅助沉积、牢固度

所属期刊栏目：38

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：长春市科技计划项目262720

在线出版日期：2010-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：803-806