激光辐照下光学薄膜元件温升的有限元分析

摘要：

实验测量了波长1 064 nm,10 kHz高重复频率激光辐照下镀制Ta2O5/SiO2多层膜的 K9、石英玻璃、白宝石高反膜元件温升变化.有限元分析的结果与实验结果相一致.用ANSYS程序计算了不同基板、空气对流系数及基板尺寸对激光辐照中心点温度的影响.结果表明:白宝石基片的薄膜元件激光辐照点的温度最低,其次是石英,K9玻璃基片的薄膜元件激光辐照点温度最高.空气对流系数在大光斑或长时间辐照时对激光辐照点温度影响较大,在小光斑或短时间辐照时对激光辐照点温度影响甚微,可忽略不计.基板越厚,基板直径越大,激光辐照中心点温度越低,基板直径比厚度更能影响激光辐照中心点温度变化.

关键词：重复频率、有限元、空气对流系数、光斑

所属期刊栏目：37

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术激光技术资助项目

在线出版日期：2008-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：714-718