干涉仪准直系统波前质量检测

摘要：

为保证干涉仪的测量精度需严格控制其准直光路中平行光束波前质量,以口径150 mm的扩束镜出射波面为测试对象在Zygo干涉仪上设计实验,采用五棱镜扫描法逐条测试扩束镜某一方向上出射波面法线的微小变化量,实现一种精度高而又经济的大口径波面测试.实验结果与Zygo的测试结果相吻合.证实了这种方法的可行性.同时分析了实验装置与环境对测试精度的影响.

关键词：波前检测、五棱镜、大口径准直光束、干涉仪、质心算法

所属期刊栏目：37

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：江苏省六大人才高峰基金06-E-030

在线出版日期：2008-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：106-110