光敏面积对小光斑法测量光谱响应率的影响

摘要：

通过对光电二极管结构和工作原理及光谱响应特性的分析,探讨了在相同工艺条件下,硅光电探测器的小光斑法测试过程中,不同大小光敏面得到不同光谱响应曲线问题.参考一维分析,建立了简化的二维分析方法,并做出定性的分析以及定量的计算,得到与测试一致的结果:光敏面积对响应率的光谱特性的影响为短波基本无变化,长波随光敏面积的减小而减小,为以后的测试改进提供了参考.

关键词：光谱响应、小光斑法、硅光电探测、横向扩散、光敏面、测试

所属期刊栏目：36

分类号：TN364+.1(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：219-221