红外材料硅透镜加工工艺研究

摘要：

随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用.介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件.实验结果表明:使用SiO2胶体配制的抛光液(PH10～11)及用抛光布制成的抛光模,采用机械-化学方法抛光出的零件表面疵病达到Ⅲ级(GB 1185-74),并能够通过修改抛光模控制光圈及光圈误差,加工出的硅透镜满足导弹光学系统的要求.

关键词：单晶硅、表面疵病、精磨、机械-化学抛光

所属期刊栏目：35

分类号：TN213.05(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：359-361,370