10.3969/j.issn.1007-2276.2002.05.012
InSb凝视红外焦平面组件研制和应用
研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si-CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流制冷机的64×64元InSb红外焦平面组件.焦平面组件平均探测率约1×10 11 cmHz 1/2 W -1 ,平均量子效率约72%,响应率非均匀性约18%,无效像元率约0.5%.其性能参数满足红外成像制导的技术要求,已成功进行了凝视红外成像探测系统外场试验.
InSb、焦平面列阵、64×64元、组件
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TN215(光电子技术、激光技术)
国家高技术研究发展计划863计划863-308-16-014
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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