多相位256×256衍射微透镜的设计及其光学性能研究

摘要：

介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上运用部分刻蚀法研制出适用于3～5 μm 波长多相位256×256衍射微透镜阵列.利用光通信半导体激光器和探测器建立了一套测试系统,并对所设计的多相位衍射微透镜阵列的衍射率和点扩散函数进行了测试,8相位和16相位石英衍射微透镜的衍射率分别高达80.2%和87.5%,完全满足实际应用的要求.

关键词：衍射微透镜、衍射效率、点扩散函数、二元光学

所属期刊栏目：31

分类号：TN221(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60086003

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：253-256