10.3969/j.issn.1007-2276.2001.03.018
少数载流子寿命测试系统研究
少数载流子寿命是衡量半导体材料性能的关键参数之一,文中介绍了光电导衰退法少数载流子寿命测试系统.阐述了光电导衰退法测试原理,分析了测试系统构成,以及光脉冲下降沿时间、微弱信号放大处理、前放带宽、精密定位等关键技术,其主要性能指标是:少数载流子寿命测试范围:1×10+{-7}~6×10+{-6}s;可测样品尺寸:小于20mm;单色光光点大小:Φ 0.3mm;测试数据稳定度优于10%.
少数载流子寿命、光电导衰退法、测试系统
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TN3(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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