少数载流子寿命测试系统研究

摘要：

少数载流子寿命是衡量半导体材料性能的关键参数之一,文中介绍了光电导衰退法少数载流子寿命测试系统.阐述了光电导衰退法测试原理,分析了测试系统构成,以及光脉冲下降沿时间、微弱信号放大处理、前放带宽、精密定位等关键技术,其主要性能指标是:少数载流子寿命测试范围:1×10+{-7}～6×10+{-6}s;可测样品尺寸:小于20mm;单色光光点大小:Φ 0.3mm;测试数据稳定度优于10%.

关键词：少数载流子寿命、光电导衰退法、测试系统

所属期刊栏目：30

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：226-229