10.3969/j.issn.1007-2276.2001.02.013
薄膜电阻加热器的高精度温控
文中介绍了用掺锡的氧化铟导电膜作为加热方式并采用比例积分微分方式通过A/D卡输出电平控制加热电压,实现高精度温控,重点是针对小热容加热体的特点采用相应的措施通过比例积分微分控制实现精确控温。初步研制成了高发射率、可持续工作并能实现精确控温的高精度薄膜电阻加热板。
掺锡的氧化铟、比例积分微分、薄膜电阻、加热板
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TN37(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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