电子级3-乙氧基丙酸乙酯的提纯制备

摘要：

电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)是集成电路(IC)和液晶面板(LCD)行业必须的清洗剂和溶剂.着重研究适合大规模生产的电子级EEP的提纯工艺,实验采用工业级EEP为原料,使用吸附、离子交换、反应精馏等工艺进行提纯,产品满足电子级3-乙氧基丙酸乙酯SEMI G3指标要求.分析3-乙氧基丙酸乙酯的分解原因和精馏液泛的原因,通过改变交换基来减少EEP的分解,通过计算对液泛速度和塔径进行修正,解决液泛问题.

关键词：电子级3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、提纯、分子筛、离子交换、精馏、液泛

所属期刊栏目：44

分类号：TQ421.4

在线出版日期：2022-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1782-1788