氦中三氟化氮气体标准物质的研制

摘要：

以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度.通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究.结果 表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2.0％(k=2).该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测.

关键词：三氟化氮、标准物质、重量法、不确定度

所属期刊栏目：41

资助基金：广东省省级科技计划项目2016A040403072

在线出版日期：2019-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：704-709