三氯氧磷制备电子级磷酸

摘要：

电子级磷酸是磷化工精细化发展的主要产品之一.近年来,国内许多高校、研究机构和企业都投入了很多力量进行研究.用工业三氯氧磷作原料,进行一系列的提纯工艺,先制备高纯三氯氧磷,再水解制得电子级磷酸,完全可以满足硅片的清洗、集成电路蚀刻等要求高的工序.

关键词：电子级磷酸、三氯氧磷、hydrdysis、净化技术

所属期刊栏目：36

分类号：TQ420.6

在线出版日期：2014-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：262-264,272