三氯氧磷制备电子级磷酸
电子级磷酸是磷化工精细化发展的主要产品之一.近年来,国内许多高校、研究机构和企业都投入了很多力量进行研究.用工业三氯氧磷作原料,进行一系列的提纯工艺,先制备高纯三氯氧磷,再水解制得电子级磷酸,完全可以满足硅片的清洗、集成电路蚀刻等要求高的工序.
电子级磷酸、三氯氧磷、hydrdysis、净化技术
36
TQ420.6
2014-04-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
262-264,272
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电子级磷酸、三氯氧磷、hydrdysis、净化技术
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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