极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发

摘要：

@@ 进入21世纪,世界全面进入了信息化时代,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业,我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业.半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础,而大规模集成电路设计制造业更是信息产业的先导和基石,是计算机和通讯设备信息家电的心脏,其影响面广,产业链长.

机标关键词：极大规模、集成电路工艺、配套、超净、试剂、信息产业、集成电路设计、集成电路产业、支柱产业、信息社会、信息家电、通讯设备、世界经济、制造业、影响面、信息化、模最大、计算机、半导体、政府

所属期刊栏目：31

分类号：TM6;TK

在线出版日期：2009-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：72-73