10.3969/j.issn.0258-3283.2002.03.006
超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述.
超净高纯试剂、现状、应用、制备、配套技术
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TQ421.2+3
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
142-145
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10.3969/j.issn.0258-3283.2002.03.006
超净高纯试剂、现状、应用、制备、配套技术
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TQ421.2+3
2004-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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