满足电子枪电场与电子束参数优化的极板个数确定

摘要：

为保证透射电子显微镜的电子枪输出电子束符合要求,研究极板个数对电子枪电场与电子束的影响.通过计算机建模和仿真分析,探究不同极板个数(N)下的电子加速效果、电场强度及电子束质量.结果表明,在N=6时,电场强度平均值高、均匀度好,电子在相同加速电压作用下具有最高速度,电子束聚焦性能较好.极板个数最佳值的确定,可为电子枪的具体结构设计提供参考和依据.

关键词：电子束、电子枪、加速极板、仿真分析

所属期刊栏目：39

分类号：O463(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：北京卫星环境工程研究所创新基金项目CAST-BISEE2019-040

在线出版日期：2022-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：181-186