音叉振动电容式表面电位测量装置设计

摘要：

文章针对振动电容式表面电位测量传感器核心组件——振动音叉进行详细设计,分析得出适用于电位检测的音叉振动形式,确定出音叉结构参数及驱动方式;进行基于传递函数的传感器灵敏度及精度影响因素分析;提出基于电荷感应与静电场仿真的电位测量装置设计方法,得到的传感器灵敏度与理论计算结果一致,并最终通过样机标定实验验证了传感器设计的正确性.

关键词：表面电位测量、传感器设计、音叉、振动电容法、静电场仿真

所属期刊栏目：39

分类号：V423.9(火箭、航天器构造（总体）)

在线出版日期：2022-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：169-174