MTM反熔丝器件编程单元的 空间应用适应性评估

摘要：

文章结合航天应用空间环境要求以及MTM反熔丝器件的特点,对MTM反熔丝器件编程单元的航天应用特性进行了分析,提出了MTM反熔丝单元的可靠性评估方法,并对MTM反熔丝单元编程前后的可靠性进行了评估;从抗总剂量和抗单粒子效应两方面对MTM反熔丝器件的空间环境适应性进行试验验证.结果表明:MTM反熔丝工艺满足空间环境应用需要,采用该工艺的器件应用于航天器具有较高的可靠性和空间环境适应性.

关键词：MTM、反熔丝器件、空间应用、可靠性评估、空间环境适应性

所属期刊栏目：34

分类号：TN453(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2018-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：672-678