激光刻蚀技术及其在航天器天线制造中的应用
以可实现频率复用、高灵敏度和低噪声的航天器先进固面天线反射器(极化和频率敏感反射器等)为例,主要介绍了利用镀膜/激光刻蚀技术进行反射器表面高精度金属薄膜图形制作过程中的关键技术问题和解决措施,同时简要介绍了已尝试过的三维曲面高精度薄膜图形制作技术和激光刻蚀技术的现状和发展方向.
激光刻蚀、三维薄膜图形、航天器、天线反射器
TN4;O65
2011-11-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
51-54,62
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激光刻蚀、三维薄膜图形、航天器、天线反射器
TN4;O65
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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