球体半径超精测量系统研究

摘要：

介绍球形工件曲率半径超精测量系统的测量原理,详细论述了该测量系统中采用的光路布局结构,并就半径测量中受环境影响引起的"状态差异误差”进行实时补偿实验.通过这些措施消除了"闲区误差”和"阿贝误差”,抑制了"状态差异误差”,提高了系统的测量精度和稳定性,该系统可同时进行面形测量.

关键词：光路布置、球径测量、仪闲区误差、球形工件、面形测量

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14