超材料红外发射的结构和制备方法

摘要：

本文提出了三种新型超材料红外发射结构和制备方法,可使用原子层沉积方法直接在灯丝上沉积超材料薄膜.设计了钨丝、钼丝、碳纤维三种灯丝材质,超材料薄膜则由多圈间隔沉积的W/ZrO2、Si/TiO2以及SiO2/Si薄膜构成.这一新盈颖的红外发射结构不仅使得超材料制备工艺大大简化,而且灯丝发热体与层状超材料紧密接触有利于提高灯丝热量利用率、产品发光效率以及产品稳定性能.

关键词：超材料、红外发射、原子层沉积

分类号：TN312.8;TB383;O484.1

在线出版日期：2023-02-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：49-51