基于迈克尔逊干涉原理的微小位移测量方法研究

摘要：

针对传统迈克尔逊干涉测量位移精度较低的问题, 本文提出了一种新型迈克尔逊干涉测量方法,该方法通过增加偏振分光棱镜来提高干涉条纹的明暗变化, 很大程度上克服了传统迈克尔逊干涉灵敏度和测量精度较低的问题.实现了0 . 01mm 微小位移的精确测量, 且测量误差为0 . 044 % , 测量系统性能稳定, 该系统可为后续的高精度测量提供宝贵的经验.

关键词：迈克尔逊干涉、干涉条纹、激光干涉、测量位移

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：136-137