Ti-Ni合金飞秒激光打孔规律研究

摘要：

飞秒激光具有极高的峰值功率，在精密加工中有着独特的优势。本文主要探索了加工参数（脉冲数、单脉冲能量和离焦量）的变化对小孔直径、深度和圆度的影响规律。实验研究发现：小孔直径随脉冲个数增加而略微增加；单脉冲能量越大，小孔直径越大；离焦量从0向正或负方向偏移时，小孔直径都随之增加；小孔深度随脉冲个数的增加而增加；单脉冲能量越大，小孔深度越大；随着脉冲个数的增加，圆度误差也相应的增加；单脉冲能量越大，圆度误差也越大，使用50个20μJ单脉冲能量脉冲加工，小孔圆度误差为8.2μm；随着激光焦点位置从样品内部逐渐移动到样品外部，圆度误差逐渐增大，离焦量为0时，500个20μJ单脉冲能量的脉冲加工，小孔圆度误差为5μm。本文所探索的飞秒激光小孔加工的规律对小孔加工实际应用具有参考和借鉴的作用。

关键词：激光技术、飞秒激光、Ti-Ni合金、微孔加工、圆度误差

分类号：O43;O4

资助基金：国家973项目No.2011CB013000。

在线出版日期：2016-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-50