真空蒸镀技术制备类金刚石碳膜材料及其表征

摘要：

真空蒸镀技术制备类金刚石碳薄膜材料,其实验条件对所制备的碳膜结构有着重要的影响.本文着重研究了靶基距在制备过程中的最佳实验条件,并用拉曼光谱,X射线光电子能谱(XPS)对所制备的类金刚石碳膜进行了结构分析,利用原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了表面形貌分析.

关键词：真空蒸镀技术、金刚石碳膜材料、碳膜结果

在线出版日期：2015-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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