基于物方差动共焦轴向测量引导的显微镜自动对焦方法

摘要：

针对传统自动聚焦方法效率低,难以适应工业产品微观形貌检测高精度、高效率需求的问题,提出 一种基于物方差动共焦轴向测量引导的显微镜自动对焦方法(DCAFM).在获取测量系统中离焦量和轴向光强差之间的标定曲线后,控制运动机构使物镜与样本的轴向距离以等步距的方式采集图像.通过焦前与焦后位置光强差快速确定当前轴向离焦量,控制轴向运动机构,实现快速自动对焦.搭建显微镜自动对焦实验平台,对样品进行测试.实验结果表明:文中方法的图像对焦速度和灵敏度优于DFT,EOG等自动对焦方法,系统的轴向分辨率优于0.4 μm,有效地提高了显微镜的对焦速度和精度.

关键词：自动对焦方法、轴向测量、轴向差动共焦、物方差动、微观形貌检测

所属期刊栏目：45

分类号：TP391.7(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金;福建省自然科学基金面上基金资助项目;福建省自然科学基金重点资助项目

在线出版日期：2024-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21