用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量

摘要：

基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1％.

关键词：矩形光栅、衍射效率比、激光衍射、光栅参数、衍射光强比

所属期刊栏目：33

分类号：O436.1(光学)

资助基金：福建省自然科学基金资助项目A0410019,A0710012;福建省科技计划项目2007H0026

在线出版日期：2012-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：251-254