10.3969/j.issn.1000-5013.2001.01.007
等离子辅助镀光学薄膜的研究
研究用等离子辅助镀技术,制备3种氧化物光学薄膜.透射光谱实验表明,该薄膜透明度好,吸收损耗小,具有优良的光学特性.经表面形貌探讨,说明等离子辅助镀技术可得到较为致密平整的薄膜.而新型等离子体源,能有效地改善光学薄膜的特性,具有实际应用的价值.
等离子辅助镀、光学薄膜、等离子体源
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TQ153:O484.1
福建省自然科学基金
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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