用于红外焦平面探测器的2.95～5.05µm带通滤光膜

摘要：

中波红外焦平面探测器因在红外制导导弹、红外夜视仪等军事领域的重要性而被广泛关注,其中带通滤光膜具有滤除杂散光和保护探测器的作用.本研究的目的是针对中波红外焦平面探测器滤光膜的关键技术问题,通过分析、选材、优化等方法,制备出性能良好的中波红外带通滤光膜.以Ge为高折射率材料和基底,以SiO为低折射率材料,设计了带通膜系结构.不仅实现了在0°入射角下对2.95～5.05μm波段大于92％的高透过率、通带宽度优于3.7～4.8μm的常规应用,而且对2.95～5.05μm之外的其它波段也能达到良好的截止效果.经测试,其光洁度、牢固性等各方面性能良好,可以很好地应用于中波红外焦平面探测器.

关键词：中波红外、带通滤光膜、透过率、薄膜制备、锗

所属期刊栏目：44

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：固体激光技术国家重点实验室基金项目

在线出版日期：2023-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7