硅基碲镉汞红外探测器表面钝化研究

摘要：

碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride,MCT)材料的表面钝化是红外探测器制备中的关键工艺之一.高性能MCT器件需要稳定且可重复生产的钝化表面和符合器件性能要求的界面.因此,探究MCT表面钝化技术具有重要意义.研究了MCT的分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)原位钝化与磁控溅射钝化两种钝化技术.结果表明,MBE原位钝化膜层的致密性较好,钝化层表面的缺陷孔洞较小,钝化层与MCT的晶格匹配度较好,器件流片的电流-电压(I-V)特性要优于磁控溅射正常钝化.

关键词：碲化镉、分子束外延、钝化、电流-电压特性

所属期刊栏目：44

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33