锑化铟晶片高温加速贮存性能变化研究

摘要：

锑化铟晶片在存放以及使用过程中的性能稳定性是影响制备的探测器性能的重要因素之一.为了探究锑化铟晶片在长时间放置情况下的性能变化情况,对锑化铟晶片进行高温加速贮存试验,并在试验过程中对晶片几何参数、表面粗糙度、电学参数、位错缺陷等几个重要性能参数进行跟踪检测.结果表明,在高温加速试验条件下,除晶片外形发生轻微变化以外,其他性能基本不发生变化,晶片能够长期保存.

关键词：锑化铟、红外探测器、高温加速贮存试验、几何参数、位错缺陷

所属期刊栏目：44

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：13-19