大规模红外焦平面阵列探测器的有效像元率研究

摘要：

随着大规模红外焦平面阵列探测器应用的日益广泛,用户对其有效像元率指标提出了越来越高的要求.分析了有效像元率提升的难点.通过优化基于垂直布里奇曼法的衬底生长以及表面加工等工艺,提高了液相外延材料质量,获得了低缺陷中波碲镉汞薄膜外延材料;通过开发碲镉汞探测器背面平坦化工艺和优化探测器与读出电路倒装互连工艺,提高了成品率.最终提升了有效像元率指标(大于 99.8％),获得了良好的效果.

关键词：有效像元率、红外焦平面阵列、液相外延、倒装互连

所属期刊栏目：44

分类号：TN214(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6