液相外延碲镉汞贯穿型缺陷研究

摘要：

液相外延碲镉汞材料的贯穿型缺陷会在后续器件制备中导致多个盲元的形成.采用共聚焦显微镜对该类缺陷的深度进行了表征,并对缺陷底部的成分进行了测试.使用聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)将缺陷挖开后对其进行观察.对于贯穿型缺陷较多的碲锌镉衬底外延生长碲镉汞薄膜,统计后发现碲镉汞表面的贯穿型缺陷与衬底缺陷存在一定的对应关系,因此推测液相外延贯穿型缺陷起源于碲锌镉衬底缺陷.

关键词：液相外延、碲镉汞、碲锌镉、缺陷

所属期刊栏目：44

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19