碲锌镉衬底的化学机械抛光液研究

摘要：

作为碲锌镉衬底表面加工的重要工序,化学机械抛光(Chemical Me-chanical Polishing,CMP)的加工效果决定了碲锌镉衬底的表面质量和生产效率.抛光液是CMP的关键影响因素之一,直接影响衬底抛光后的表面质量.对碲锌镉衬底CMP工艺使用的抛光液进行了研究,探究了以二氧化硅溶胶和过氧化氢为主体的抛光液体系在不同pH值、不同磨料浓度下对衬底抛光表面质量和去除速率的影响.结果表明,使用改进后的抛光液体系对碲锌镉衬底进行CMP,能够在获得超光滑表面的同时实现高效率加工,为批量化制备高表面质量的碲锌镉衬底奠定了良好基础.

关键词：碲锌镉、化学机械抛光、磨料浓度、pH值

所属期刊栏目：44

分类号：TB31;TN213(工程材料学)

在线出版日期：2023-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：17-22