基于Ronchi光栅检测非球面镜系统中的杂光现象分析

摘要：

为指导某600 mm口径的双曲面反射镜的加工,设计了Ronchi光栅检测系统.针对系统检测过程中存在的杂光现象,分析产生该现象的原因,并提出相应的解决方案.结果表明,在光线两次经过光栅的光路结构中,分光棱镜的剩余反射率大于5％时,像面处暗条纹的照度增大27倍,条纹明暗对比度下降,难以分辨;随着光栅剩余反射增加,条纹中心产生亮斑现象,条纹无法分辨.条纹面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加40多倍,玻璃面正对分光镜的亮斑区域的背景照度增加80多倍.通过优化系统结构,对分光镜与光栅进行替换与表面处理,有效解决了杂光问题,提高了像面条纹对比度.

关键词：Ronchi光栅、分光棱镜、剩余反射、条纹对比度

所属期刊栏目：44

分类号：O439(光学)

资助基金：吉林省科技发展计划项目;吉林省发改委项目

在线出版日期：2023-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：1-10