用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究

摘要：

利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜.对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating,ZCG)的高反射特性进行了 研究,分析了 ZCG实现宽带高反射的条件.此外,讨论了光栅结构参数对反射性能的影响并计算了制作公差,模拟分析了 ZCG尺寸与垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)氧化孔径尺寸对镜面损耗的影响.所设计的ZCG带宽可达280 nm,Δλ/λ0=29.8％.该反射镜可以替代VCSEL中传统的分布式布拉格反射镜,降低了工艺难度和生长成本,同时有利于VCSEL与其他Si基光电子器件的集成.

关键词：垂直腔面发射激光器、零折射率对比度光栅、严格耦合波理论、时域有限差分

所属期刊栏目：43

分类号：O472+.8(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省科技发展计划项目

在线出版日期：2023-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：30-36