碲镉汞p-on-n双层异质结材料表面缺陷研究

摘要：

对碲镉汞p-on-n双层异质结材料的表面缺陷进行了研究.材料表面缺陷会对后续器件的性能产生影响.利用光学显微镜观察外延完的材料表面,发现表面不规则块状缺陷和表面孔洞缺陷较为常见.使用共聚焦显微镜、扫描电子显微镜、能谱分析等测试手段分析发现,缺陷的形成原因是p型层生长过程中镉耗尽以及n型层生长过程中产生缺陷的延伸.

关键词：碲镉汞、p-on-n、表面缺陷

所属期刊栏目：43

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19