InSb红外探测器钝化前清洗工艺研究

摘要：

对InSb红外探测器钝化前清洗工艺进行了研究.在传统清洗方法的基础上增加专用清洗液进行清洗,以优化钝化前InSb材料的表面质量.飞行时间二次离子质谱仪(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry,TOF-SIMS)质谱检测表明,增加专用清洗液清洗工艺后,InSb材料表面的Si杂质浓度降低了约85％,主要有机物杂质浓度降幅约为30％～60％,表面整体杂质含量显著降低.经流片验证,增加专用清洗液进行钝化前表面清洗,Ⅰ-Ⅴ性能更优,InSb光伏芯片的长期可靠性显著提高.这说明钝化前InSb材料的表面质量对InSb红外探测器的性能和可靠性具有重要影响.本文提供的钝化前清洗优化方向具有一定的指导意义.

关键词：InSb、表面清洗、飞行时间二次离子质谱仪、可靠性

所属期刊栏目：43

分类号：TN362(半导体技术)

在线出版日期：2022-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：16-22