10.3969/j.issn.1672-8785.2022.10.003
InSb红外探测器钝化前清洗工艺研究
对InSb红外探测器钝化前清洗工艺进行了研究.在传统清洗方法的基础上增加专用清洗液进行清洗,以优化钝化前InSb材料的表面质量.飞行时间二次离子质谱仪(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry,TOF-SIMS)质谱检测表明,增加专用清洗液清洗工艺后,InSb材料表面的Si杂质浓度降低了约85%,主要有机物杂质浓度降幅约为30%~60%,表面整体杂质含量显著降低.经流片验证,增加专用清洗液进行钝化前表面清洗,Ⅰ-Ⅴ性能更优,InSb光伏芯片的长期可靠性显著提高.这说明钝化前InSb材料的表面质量对InSb红外探测器的性能和可靠性具有重要影响.本文提供的钝化前清洗优化方向具有一定的指导意义.
InSb、表面清洗、飞行时间二次离子质谱仪、可靠性
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TN362(半导体技术)
2022-11-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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